多孔硅相对湿度传感器的研究

来源 :合肥工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:superficalness
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
湿度传感器作为一种重要的传感器,在人类生产生活中也发挥着举足轻重的作用。湿度传感器自问世以来,已经有约两百年的历史,在这两百年中湿度传感器的发展速度惊人,现在已经朝着微型化、智能化、集成化等方向发展。本文从湿度传感器的感湿材料氧化多孔硅(OPS)出发,着眼于相对湿度传感器的结构,比较了几种传统多孔硅相对湿度传感器的结构,并在此基础上设计出了新的结构,最后给出了制作该传感器的工艺方法。本文的主要工作成果有:1、探索了制备多孔硅材料的新方法,新装置,在现有双槽的基础上设计出了一套新的制备多孔硅材料的新装置,该装置可以适应大面积以及特定位置的多孔硅的制备。2、比较了传统电容式湿度传感器两种结构的优劣,并在此基础上设计出了本文新的结构,并且从理论和实验上论证了该结构的优点。该结构使用了多晶硅作为加热电路为传感器除湿,保证传感器的自解吸附。电极上面淀积一层钝化层Si3N4,可以有效的防止电性能的退化,并防止潮湿、离子或其他外部沾染物等原因引起的漏电流的通路,影响下次测量。3、对该结构的湿度传感器进行工艺制备,使用了硅通孔工艺进行金属电极的填充。
其他文献
电磁辐射特性分析是现阶段计算电磁学的一个重要研究方向,特别是对天线阵列的电磁辐射特性的分析计算,对监视雷达和无线通信系统以及相控阵系统的研究具有重要的指导作用。本
如今,不同通信系统之间的电磁兼容问题越来越成为人没关注和研究的焦点。超宽带(Ultra Wide Band,UWB)技术是近几年来国际上蓬勃发展的一种无线通信的革命性传输技术,由于超
作为传统的中药材之一,淫羊藿目前入药的多为野生资源,但质量参差不齐,不同物种或同一物种不同地理来源的淫羊藿所含活性成分的种类和含量都有很大差异,这给选育优质淫羊藿资源带
ROIC(读出电路)是光电传感器系统中重要组成部分,主要完成信号的读出、放大和数/模转换和数据处理等功能。本文设计的高增益,新原理光电传感器ROIC主要由电容反馈互阻放大器(
“从宏观经济和传媒市场的趋势来看,今年传统媒体广告市场整体下降的局面不仅很难改变,而且有降幅扩大的趋势。”这是中国广告协会报刊分会和央视市场研究(CTR)媒介智讯最新
李从军是一位学者型政治家,也是一位有艺术造诣和创作成就的画家。他曾获吉林大学文学硕士学位,1985年在山东大学中国古代文学专业博士研究生班毕业,获文学博士学位。在参加
木质纤维素是地球上储量最丰富的可再生生物质能源,每年产量约占自然界光合作用生物总产量的60%以上。木质纤维素的成分和结构均较为复杂,其降解主要依靠微生物产生的各种纤维素
艾滋病即人类获得性免疫缺陷综合征,是一种由HIV-1病毒引起对社会公共卫生安全造成严重威胁的重大传染性疾病。截止至2015年底,全球HIV-1病毒携带者已有3 670万人,寻找有效的治疗药物仍具有重要意义。研究表明杂多酸类化合物具有良好的抗病毒和抗肿瘤活性,其中K_7[PTi_2W_(10)O_(40)]·6H_2O(PM-19)具有较强的抗HIV-1病毒能力和较低的毒性。以PM-19为先导化合物
本文通过对荣华二采区10
期刊
肝细胞核因子4α(HNF4α),是肝细胞核因子家族的重要成员,为核受体型转录因子,可调控大量肝细胞特异基因的表达,是肝脏分化和功能维持的主要调控者,既往研究发现HNF4α是潜在的慢