【摘 要】
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随着MEMS技术的不断发展和进步，人们希望将各种微器件与能源部件集成在一起，形成一个具有独立工作能力、能长时间稳定工作的微系统，这就需要研究与MEMS工艺兼容、易于集成、工作稳定性好、使用寿命长的微能源。基于β辐生伏特效应的同位素微电池不需要外界为其提供燃料、能独立工作，结构简单、使用寿命长，采用MEMS工艺、易于集成，可以满足MEMS对微能源的要求。MEMS同位素微电池不仅扩展了其在MEMS领域
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随着MEMS技术的不断发展和进步，人们希望将各种微器件与能源部件集成在一起，形成一个具有独立工作能力、能长时间稳定工作的微系统，这就需要研究与MEMS工艺兼容、易于集成、工作稳定性好、使用寿命长的微能源。基于β辐生伏特效应的同位素微电池不需要外界为其提供燃料、能独立工作，结构简单、使用寿命长，采用MEMS工艺、易于集成，可以满足MEMS对微能源的要求。MEMS同位素微电池不仅扩展了其在MEMS领域发挥巨大作用，同时也促进了其在便携式能源领域的广泛应用。因此，基于β辐生伏特效应的同位素微电池具有重要的
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