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随着电子产品的小型化和系统功能的集成化,微型驱动器获得了巨大的市场潜力并拥有广阔的应用前景。众多微驱动器中,电热微驱动器具有体积小、结构相对简单、加工工艺稳定以及成本低等优点,成为微型机械电子系统研究的热门。本文研究了新型电热微驱动器,其核心部件由悬臂梁、电路、基座组成。分别采用理论计算和软件仿真,通过微细加工工艺制作了微驱动器,并进行了测试验证。根据测试结果调整设计结构、加工工艺,最终获得高质量的电热驱动器。本文着重研究了悬空结构加工中的厚牺牲层技术、热驱动悬臂梁的制作等工