【摘 要】
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目前国内外对于工程表面的测量方法主要分为接触式和非接触式测量。近年来国际上研究比较多的,发展也较为成熟的扫描白光干涉法已被广泛应用于非接触式测量系统中。但由于非接触式测量对被测工件形状、表面光学性质、表面加工质量,测量范围等有种种限制,有些情况下必须另外购买专门的接触式轮廓仪进行测量。这样无形中加大了测量的成本。而且,在工程应用中,不但要测量工件的表面粗糙度,还要测量表面的波度和形状误差,这就要求
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目前国内外对于工程表面的测量方法主要分为接触式和非接触式测量。近年来国际上研究比较多的,发展也较为成熟的扫描白光干涉法已被广泛应用于非接触式测量系统中。但由于非接触式测量对被测工件形状、表面光学性质、表面加工质量,测量范围等有种种限制,有些情况下必须另外购买专门的接触式轮廓仪进行测量。这样无形中加大了测量的成本。而且,在工程应用中,不但要测量工件的表面粗糙度,还要测量表面的波度和形状误差,这就要求仪器同时具有高精度和大量程的特点。如果将现有的扫描白光干涉轮廓仪进行改进,使其可同时满足两种不同方式的测
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