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六角磁铅石钡铁氧体薄膜材料由于其具有优异的化学稳定性、较高的饱和磁化强度、较高的矫顽力以及高的垂直磁晶各向异性场而被视为磁记录介质的优秀候选材料,另外,该材料还具有很高的电阻率,在高频低损耗微波和单向微波集成电路方面也有很高的应用价值。鉴于此类应用,BaFe_(12)O_(19)薄膜通常需要满足以下几个条件:一、薄膜中磁性相BaFe_(12)O_(19)的含量要高,以达到较高的饱和磁化强度;二、薄膜具有较好的c轴取向,以获得高的磁晶各向异性从而获得大的矫顽力,这对垂直磁性记录尤其重要;三、小的晶粒尺