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从SPR现象被发现并用于传感技术至今,人们在SPR传感技术的理论研究和实际应用方面都取得了显著的成果。本文首先回顾了SPR技术的主要发展历史,简要介绍了SPR传感器的工作原理、技术参数与分类,并讨论了SPR传感器的最新应用领域和SPR传感技术的发展前景。
现有的SPR传感器大部分是采用棱镜耦合方式实现的,而棱镜耦合结构存在机械界面,需要进行多方面的维护。这也限制了SPR仪器作为研究仪器的使用。本文在光栅理论研究的基础上,设计出了五种以上不同的SPR传感器衍射光栅的结构,并结合衍射光栅耦合元件的原理和计算,制作了基于衍射光栅的SPR传感器芯片,此类传感器芯片采用高度集成工艺制造,避免了使用中的机械损伤,大大降低了维护成本,符合SPR传感器芯片的发展方向。
在此基础上,本文提出并设计了基于集成反射的SPR光学耦合元件,主要包括以下三种类型:柱面型、透镜型以及抛物面型等,对这些类型的反射耦合元件的尺寸和参数进行了计算,并对它们分别进行了一定程度的仿真,取得了较好的效果。
为了使SPR耦合元件达到设计的目的和设计的要求,同时在工艺上能够顺利实施,选择合适的光学材料也是至关重要的,本文对不同的光学材料也进行了分析和研究,结合特定的工艺,从而能够制作出符合要求的SPR耦合元件。