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扩散是晶硅太阳电池制造的一个基本工艺步骤,扩散的质量直接影响太阳电池的光电转换性能。目前常规产线中主要采用管式扩散形成PN结,管式扩散时气体流动性和管内热分布会影响扩散的均匀性;国外一些研究单位也报道了采用不锈钢金属网带的链式扩散技术,但效率普遍低于产线电池,并认为其原因可能是金属网带造成的金属污染。本论文介绍了太阳电池的基本理论、晶体硅太阳电池的工艺和相关测试技术,并利用理论模拟分析得出:为了提高电池效率,需要比目前产业界的80-90Ω/□更高的方块电阻和适当的结深,论文的重点工作是利用辊式扩散设