X射线荧光分析方法日益得到广泛应用，本文针对X射线荧光数据分析与处理领域，运用嵌入式系统的设计理念，成功研制了低功耗、小体积的X射线荧光数据处理系统。该系统使用嵌入式ARM7处理芯片作为数据处理的控制核心，采用了大容量SD卡作为数据存储设备，系统配备320×240图形液晶显示器，安装了通过美国联邦航空管理局认证的μC／OS-Ⅱ开源操作系统，使用了与WINDOWS系统兼容的文件系统格式，专门针对X射线荧光数据分析特点设计了中文视窗菜单操作界面，采用了目前最为流行的USB接口实现与个人电脑的数据传输，这些都极大方便了用户的使用。本课题来自“863计划”——“海底原位X射线探针分析系统研制”。在X射线荧光软件设计中，结合课题组已有的研究成果，进行了一系列改进：（1）以LPC2148微处理器为核心，开发了FPXRF数据处理系统的硬、软件，替代了传统的PC104工控机，大大降低了系统功耗，减小了体积和重量，为实现高灵敏度FPXRF仪器微型化、一体化的设计铺平了道路；（2）系统提供²³⁸Pu、²⁴¹Am、⁵⁵Fe三种激发源的分析模式，扩展了元素分析范围，包含了绝大部分常规地球化学指示元素；（3）建立了“自动能量刻度”、“自动分类多参数含量计算模型”、“异常报警提示”、“半自动定性分析”等智能化、人性化的功能，为FPXRF的推广创造了有利条件；（4）开发了基于USB接口技术的联机通信功能，采用了大容量SD卡存储设备，增强了FPXRF仪器的功能。该系统在初步应用过程中，完成了X射线荧光分析的基本功能，表明系统运行稳定、性能可靠、操作方便。该系统在核谱数据采集与处理方面具有较好的应用前景。