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压电泵具有结构简单、易微型化、无电磁污染等优点,这些特性在医疗器械、实验分析、精密仪器、微机电加工、电子设备水冷等领域有广阔的应用前景。它逐渐成为国内外众多学者们的研究热点,这极大的促进了压电泵技术的发展,使它日趋成熟。现有的有阀压电泵输出压力较大,但具有阀泵滞后性的缺点;无阀压电泵避免了泵阀滞后性,却输出压力小,且有回流。这些单一的特性,往往会限制压电泵的进一步应用。因此,本文根据静脉瓣膜结构,设计了一种半柔性阀压电泵,可以在不改变泵的其他条件时,只改变压电振子驱动端输入,就可以获得宏观输出能力,