近年来,太赫兹技术飞速发展。作为完整的太赫兹系统,除了光源和探测器外还需要研究促进传输过程以及各种衔接所需要的太赫兹器件,因此基于超材料的各类太赫兹器件如滤波器、吸收器等成为近年研究的热点。如何进一步实现太赫兹超材料的频谱可重构特性以及拓展其应用范围显得越来越重要。MEMS研究的尺寸恰好与太赫兹亚波长相吻合,因此MEMS技术是制备微米乃至纳米级超材料的最优选择,再结合MEMS驱动技术,通过改变超材料周期单元的几何参数,可以实现频谱的可重构。本论文通过理论分析、软件仿真和流片测试,研究了基于MEMS技术的共振频率可调的太赫兹超材料和基于超材料的太赫兹波吸收器。首先基于MEMSCAP公司的MetalMUMPs工艺设计了基于热驱动方式的共振频率连续可调的超材料模型,利用CST Microwave Studio仿真平台分析了单元结构参数对共振频率变化的影响,在此基础上利用Comsol Multiphysics建模分析了MEMS热驱动结构模型,分析了不同驱动电流下驱动结构的位移参数,最终实现了共振频率从1.371THz到1.574THz连续可调的超材料。在此基础上,基于对共振频率可调超材料的研究,本文结合MEMS表面牺牲层工艺,建模仿真了基于频谱可重构超材料的吸收器,实现了吸收峰频率从0.87THz到0.96THz的连续可调,吸收率峰值在整个可调区间内保持在96%以上,半波峰频谱宽度和波峰频率的比值小于4%。为了测试太赫兹超材料的性能,本文基于柔性聚合物材料设计了太赫兹超材料阵列和吸收器,在THz-TDS实验平台上进行了器件性能测试,初步得到了超材料的共振频率响应,积累了大量的流片经验。