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本论文对无氟的高分子辅助金属有机物沉积法(PA-MOD)制备YBa2Cu307-x(YBCO)高温超导薄膜的热处理工艺进行了优化,并对其Cu位微量元素掺杂进行了研究。本论文在调研分析超导材料及YBCO高温超导薄膜的大量文献的基础上,首先对无氟PA-MOD法制备YBCO高温超导薄膜的热处理工艺进行研究。低温分解热处理工艺方面的研究结果表明,低温分解热处理过程的最佳升温速率为0.5℃/min,升温速率过快或过慢都不利于薄膜后期的外延生长。在保证其他工艺参数不变的情况下,又研究了高温成相热处理工艺