射频电源作为激光的功率来源，是激光器的一个重要组成部分。本文旨在开发高功率CO2激光器的射频电源系统，重点对振荡和功放电路、阻抗匹配及功率控制等关键技术进行了研究，并从理论和制作工艺两个方面完成了射频电源的理论分析和设计。论文的主要内容包括： (1) 结合激光器对射频电源的技术要求，确定了射频电源的系统结构，并采用了自激式射频电源的设计方案。 (2) 在自激式射频电源总体结构的框架下，进行了射频电源的电路设计，重点分析了振荡和功放电路、阻抗匹配网络及功率控制电路的工作原理。在振荡和功放电路部分，详细计算了回路元件参数和电子管的工作参数。在阻抗匹配部分，根据传输功率最大化的原则，确定了共轭阻抗匹配的设计方案，并给出了匹配设计的一般方法。在功率控制部分，采用了脉宽调制（PWM）方式，实现了脉冲和连续方式下，脉冲频率和激光功率的实时控制。 (3) 在电源的工艺设计方面，分析了电路元件选择、元件排列布置、布线和焊接的基本原则和具体方法。同时，根据射频电路发热量大和易受干扰的特点，采取了相应的措施加强系统散热和抑制噪声、干扰。 本文通过对高功率射频电源的研究，完成了电源的理论分析和工艺设计，为高功率射频激光器的研制提供了有益的技术探索。