【摘 要】
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为实现高质量、大尺寸ZnO单晶的制备,本文研究了ZnO单晶的化学气相生长习性及机制,优化了ZnO单晶制备工艺。采用石墨辅助化学气相法对ZnO多晶进行了提纯研究;以001面的籽晶片作为称底定向制备出了ZnO单晶,并对表面形貌形成机制进行了分析;设计出了化学气相垂体提拉法生长ZnO单晶的新方法,并采用该方法成功制备出了高质量、大尺寸的ZnO单晶体。利用X射线衍射、霍尔测试、扫描电子显微镜、光致发光谱、
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为实现高质量、大尺寸ZnO单晶的制备,本文研究了ZnO单晶的化学气相生长习性及机制,优化了ZnO单晶制备工艺。采用石墨辅助化学气相法对ZnO多晶进行了提纯研究;以001面的籽晶片作为称底定向制备出了ZnO单晶,并对表面形貌形成机制进行了分析;设计出了化学气相垂体提拉法生长ZnO单晶的新方法,并采用该方法成功制备出了高质量、大尺寸的ZnO单晶体。利用X射线衍射、霍尔测试、扫描电子显微镜、光致发光谱、拉曼谱、光学透过谱等技术对样品进行了表征。研究结果主要包括以下3点:(1)现采用石墨辅助化学气相法,对Z
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