随着MEMS技术被广泛应用于各行各业,其市场规模正在迅速扩大。微型机械电子系统是各种微型零件的组合体,因此MEMS技术发展的关键是微型零件制备技术。微型平面弹簧作为其中重要的力学结构,和传统弹簧一样起到提供弹性力和传递能量的作用。本文提出以商用高强度QAl7铜合金为实验材料,研究不同热处理态QAl7铜合金室温下的力学性能,工艺参数对微型平面弹簧冷挤压成形过程、微观组织变化及力学性能的影响。本文主要结论如下：QAl7铜合金的压缩屈服强度存在晶粒尺寸效应和特征尺寸效应。拉伸屈服强度在样品厚度为0.25-0.5mm范围内表现出明显的尺寸效应。成功制备出长度8mm、宽度2mm、线宽0.5mm的QAl7铜合金弹簧柱,经加工处理后可以获得厚度为0.5mm的微型平面弹簧。在微弹簧成形过程中,润滑条件对微弹簧有着极大的影响,润滑条件越好,越有利于降低成形载荷,令弹簧柱形状完美,表面较光滑。前期热处理工艺和挤压速度对微弹簧挤压成形质量影响很小。微型弹簧边缘区域的晶粒变形程度明显大于中心区域。靠近悬臂梁部分,有明显的流线分布。微型弹簧的硬度、弹性刚度、疲劳寿命既受到工艺参数引起的强度变化的影响,也受到应力集中裂纹的影响。QAl7铜合金微型平面弹簧循环使用寿命最高达到19260次,明显高于LIGA技术制备的镍基微型平面弹簧的使用寿命。