【摘 要】
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溶解CO的检测被广泛应用于医疗、食品、水处理、环境检测等诸多方面。目前测定溶解CO的常用方法有：滴定法和电极法等。滴定法是通过一系列复杂的化学反应来测量水中溶解的CO，测
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溶解CO<,2>的检测被广泛应用于医疗、食品、水处理、环境检测等诸多方面。目前测定溶解CO<,2>的常用方法有：滴定法和电极法等。滴定法是通过一系列复杂的化学反应来测量水中溶解的CO<,2>，测量时间很长，不是连续实时的测量方法，而且容易受到其他离子的干扰。电极法是一种电化学的方法，虽然可进行连续测量，但是CO<,2>电极不是全固态器件，体积较大，透气膜需要定期更换。因此，溶解CO<,2>传感器的小型化和固态化成了研究的热点。有研究表明，CO<,2>会引起一些金属氧化物及固体电解质等的功函数发生变化。本文根据该特性并结合MISFET 转换器，采用铂糊成膜的工艺，将超微细Pt粉及敏感材料混合并研磨均匀，用生物石蜡作为粘合剂，制成的MISFET型溶解CO<,2>传感器具有小型化、固态化、功耗低、灵敏度高和响应速度快的特点，并且能在室温下工作。该型传感器为溶解CO<,2>的快速、高效、准确的检测提供了一种新工具。
本文通过分析CO<,2>的液相吸附，根据物理吸附与化学吸附理论，建立了溶解CO<,2>的单分子层与多分子层吸附模型，阐述了敏感膜的功函数变化机理，并结合MISFET器件特性说明了传感器的响应原理；设计了溶解CO<,2>检测系统，完善了传感器的测试与检测液的标定部分；制作并检测了多种MISFET型溶解CO<,2>传感器，并对不同敏感膜和转换器的传感器响应特性、灵敏度进行比较；在不同环境温度下，对传感器进行测量，讨论了温度对响应特性的影响。
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