【摘 要】
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该研究利用氩离子束镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅衬底上制备一层钛酸镧钡薄膜,然后蒸铝和利用光刻技术制作铝电极,从而制备形成Al/BaLaTiO/SiO/Si结构和平面型薄膜光敏电阻器.钛酸钡是一种钙钛矿型化合物,用钙钛矿材料制备的陶瓷材料是制备敏感元件的主要材料之一.该文首先介绍了研究所涉及的光的一些基本理论和光敏传感器的机理,然后着重讨论了光与半导体的相互作用、光电导机理,并对BaLaT
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该研究利用氩离子束镀膜技术和硅平面工艺在经过干氧氧化的硅衬底上制备一层钛酸镧钡薄膜,然后蒸铝和利用光刻技术制作铝电极,从而制备形成Al/Ba<,1-x>La<,x>TiO<,3>/SiO<,2>/Si结构和平面型薄膜光敏电阻器.钛酸钡是一种钙钛矿型化合物,用钙钛矿材料制备的陶瓷材料是制备敏感元件的主要材料之一.该文首先介绍了研究所涉及的光的一些基本理论和光敏传感器的机理,然后着重讨论了光与半导体的相互作用、光电导机理,并对Ba<,1-x>La<,x>TiO<,3>薄膜的物理性质、元件的结构和物理效应进行分析,对光电导增益、灵敏度等参数作了较详细的讨论,研究照度、电压和温度对Ba<,1-x>La<,x>TiO<,3>薄膜光敏特性的影响.
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