【摘 要】
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该论文采用Y型反射式光纤探头设计制作了一种微位移测量装置,它主要由发光二极管.光纤探头.锁相放大器.显示器及相关电路组成.按题目要求,论文对Y型反射式光纤探头的工作原理
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该论文采用Y型反射式光纤探头设计制作了一种微位移测量装置,它主要由发光二极管.光纤探头.锁相放大器.显示器及相关电路组成.按题目要求,论文对Y型反射式光纤探头的工作原理进行了初步探讨和数学分析,推导出反射光的基本计算公式,绘出了位移--响应灵敏度曲线,并指出Y型反射式光纤探头进行微小位移、较大位移、表面粗糙度测试时对应的三个特征曲线段,具有创新之处和实用价值.同时,对微弱光电信号处理技术也做了比较深入的研究,设计制作出以锁相放大器为核心的光电信号处理系统,放大倍数可达10<6>,信噪比提高到1000:1.该论文还给出了用轮廓仪测试多种标准片、铝片、玻璃片的表面粗糙度的测试结果、实验装置的频率特性实验结果、关键器件的特性实验结果、积层式压电致动器的位移特性试验结果及微位移测量试验结果.实验数据可信,理论分析正确,对今后的研究和开发具有指导意义.
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