基于微滴喷射的Al2O3陶瓷平板热管的成形研究

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电子器件的微型化、高功率化对散热方式提出更高的要求。微型平板热管(MHP,micro heat pipe)具有较高的导热率,成为电子器件散热的主要研究方向。传统的MHP采用金属作为管材,加工方法复杂,与电子器件热膨胀不匹配,影响了其传热性能。MAM(motor assisted microsyringe,电机助推微注射器)自由成形技术的引入简化了热管的成形过程,并为氧化铝(Al2O3)陶瓷成形热管提供可能性,解决了热管与电子器件间的热膨胀匹配问题,为电子器件的一体化封装提出新方向。本文以Al2O3为原料,创造性地设计和成形了Al2O3陶瓷平板热管,并对其传热性能进行研究。本文首先对热管的吸液芯进行设计。通过分析沟槽结构对传热性能的影响,设计了热管的槽宽与槽深。并根据MAM一体化成形要求,增加了0.35mm支撑层,优化了热管的吸液芯。研究了Al2O3陶瓷浆料稳定性的影响因素,分析其分散机理,得到分散剂含量和PH值的最优参数;根据成形工艺对浆料性能的要求,确定了Al2O3陶瓷浆料的最佳配方。在热管制造工艺研究方面,通过成形实验,探索了最佳成形工艺参数;分析了烧结温度对Al2O3陶瓷的表面形貌和力学性能的影响,确定了最佳烧结温度为1550℃;根据陶瓷的特点,制定了抽真空和充液方案。本文还对热管的传热性能进行研究。设计了性能检测系统,分析了系统的热阻;研究了不同充液率以及散热条件对热管传热性能的影响。研究结果表明,充液率为100%、采用热沉散热条件时,陶瓷平板蒸汽腔的温差仅有3.8℃,导热系数达1409W/m·k,传热性能最好。
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