随着全球制造业的发展，大型的工业设备如雨后春笋般进驻生产车间，设备由于常年处在高温高压的工作状态下往往带有“跳动”现象，因此研究一种适用于工业领域的设备形位检测方法对其的安全稳定运行起着至关重要的作用。三维激光扫描技术是继GPS技术后测绘领域的又一次革命，传统的单点测量已无法满足现代测绘对被测体真实情况反应的要求，而三维激光扫描技术采取非接触高速激光扫描的方式，以高密度、高精度的点云数据来确定被测体的空间与表面色彩信息，因此与其它技术相比拥有一定的优势。研究利用三维激光扫描技术对大型工业设备形位检测的可行性，并将此技术推广至整个变形监测领域将具有重要的现实意义。本文对三维激光扫描技术的工作原理、系统构成、应用领域、技术特点进行了详细的介绍。总结了本文中使用的Leica Scanstation C10型三维激光扫描仪的性能特点及与前一代产品Lecia Scanstation2相比下的改进之处。详细介绍了地面型三维激光扫描点云数据采集方法与注意事项、数据预处理算法与步骤及基于cyclone软件油气设备曲面模型构造方法。针对苏120-2压缩机在国内首次采用无基础安置，为了检测其在安置加压运行后的稳定性，采用三维激光扫描技术与传统工业测量技术相结合的方法对压缩机进行了加压后的形位检测，通过对两期数据的比对，分析探讨了三维激光扫描技术在工业设备形位检测中的可行性，得出了苏120-2在首次加压运行后安全稳定的结论，同时构建了苏120-2压缩机的三维模型，模型效果逼真，并实现了苏120-2压缩机设备的三维可视化。