【摘 要】
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该文首先对LSI中膜厚、台阶测试仪器的原理和方法进行了概况的介绍.其次,对国内外台阶测试仪发展进行了深入的了解,并在此基础上,提出了课题研究方案,即:研制一台高精度、自
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该文首先对LSI中膜厚、台阶测试仪器的原理和方法进行了概况的介绍.其次,对国内外台阶测试仪发展进行了深入的了解,并在此基础上,提出了课题研究方案,即:研制一台高精度、自动化的台阶测量仪器,以实现高分辨率(0.5nm)的微细图形台阶测量.最后,阐述了课题研究的初步方案,该方案采用了精密机械—差动变压器式位移传感器(LVDT)—信号处理—计算机控制的实验方案.同时,对研究内容(机械、测量和控制三部分)进行了详细的论述.并且,通过对关键部件(如:传感器、触针)和影响因素(如:运动速度、触针力)的实验研究和理论分析,可进一步改善整个系统的性能,以满足LSI检测的要求.
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