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随着科学技术的不断进步，器件朝着微型化的方向发展。传统的制冷方式不能够实现对微型器件的制冷，而固体制冷作为新型的制冷方式可以满足微型器件的制冷需求。固体制冷主要包括磁热制冷、半导体制冷和电热效应制冷。磁热制冷存在成本高、工作温度低的缺点；半导体制冷存在制冷效率低，能量损耗大的缺点；电热效应制冷存在制冷效率高，制冷成本低的优点。因此研究电热效应制冷非常有意义。目前电热效应存在的问题主要有：绝热温度变化值的最大值出现在温度较高的地方和绝热温度变化值的最大值对应的温度区间较窄。为此，我们要研究如何改善电热效应。本论文希望通过采用调控相变和制备PbTiO3/BaTiO3复合薄膜的方法增强BaTiO3薄膜的电热效应。主要内容和结论如下：1.相变调控对BaTiO3薄膜室温电热效应的增强研究采用溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了厚度为300nm左右的BaTiO3薄膜。通过对BaTiO3薄膜的X射线衍射结果和铁电性测试结果我们确定BaTiO3薄膜的晶体结构为伪立方相结构。从BaTiO3薄膜的介电常数和温度的变化关系曲线中我们发现在300K到320K的温度区间内，BaTiO3薄膜的介电常数随温度的升高而降低，这说明在300K以下BaTiO3薄膜会发生相变；在320K到390K的温度区间内BaTiO3薄膜的介电常数没有较大的变化，390K以后，BaTiO3薄膜的介电常数开始逐渐降低。这个过程中BaTiO3薄膜发生了弥散型相变。BaTiO3薄膜的这种相变是由于退火时间较短产生伪立方相结构的BaTiO3而造成的。在300K到320K的温度区间内，BaTiO3薄膜的T随温度的升高而降低，我们首次在BaTiO3薄膜中发现这种现象。300K时，BaTiO3薄膜在电场强度为216.7kV cm1的条件下T为0.46K，这个值要远大于其他文献中报道的BaTiO3薄膜的室温T。这说明调控相变可以明显增强BaTiO3薄膜的室温电热效应。2. PbTiO3/BaTiO3复合薄膜对BaTiO3薄膜电热效应值(T)的增强研究采用溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了厚度为300nm左右的PbTiO3/BaTiO3复合薄膜。从PbTiO3/BaTiO3薄膜的绝热温度变化值(T)和温度的变化关系曲线中我们发现，在375K到400K的温度区间内T快速增加，并且在400K时T为1.3K，而在相同电场下单组分BaTiO3薄膜T的最大值为0.73K，这说明复合薄膜对BaTiO3薄膜的T有明显的增强的作用。