激光清洗技术是利用激光与物质通过直接或者间接的相互作用,将污染物从待清洗物体表面去除,来达到清洗的目的。激光清洗技术具有很多优势,它能够通过调节激光参数来清洗不同的污染物,适用范围广,且清洗效率高、无污染、成本低、能够清洗微米及亚微米的颗粒污染物。在大型高功率固体激光装置中,光学元件受到颗粒、油脂类污染物污染后,降低了光学元件的损伤阈值,严重影响激光最终输出通量,所以有必要对其表面的污染进行清洗。而传统的清洗技术很难将细小的颗粒污染物去除,本文针对光学元件的污染情况,选取K9玻璃表面污染物的清洗作为研究对象,进行了理论分析和实验研究,目的是找到最佳的清洗参数。通过激光干式清洗法、激光等离子体冲击波清洗法对K9玻璃表面的颗粒污染物进行了清洗,作为对比,本文还采用了射频等离子体清洗法对K9玻璃表面的颗粒和油脂类污染物进行清洗,采用光学显微镜、紫外-可见近红外分光光度计、图像分析软件、表面颗粒仪对其清洗效果进行了分析,主要研究内容和结论如下:(1)采用波长为355nm的脉冲激光对K9玻璃表面上的灰尘颗粒和Al2O3颗粒进行直接辐照清洗,并检测其清洗效果,分析了光斑面积、激光能量、作用发次对清洗效果的影响,获得了激光干式清洗K9玻璃表面灰尘污染物的最佳工艺参数为:光斑面积3.4 mm2,激光能量密度约为4.3 J/cm2,作用发次为5发。此参数清洗既有较好的清洗效果,又不会对K9玻璃基底产生损伤,且可以实现定点清洗,能够有效清除微米级甚至亚微米级污染物。(2)使用激光诱导等离子体冲击波法清洗K9玻璃表面的灰尘颗粒,检测效果表明能取得较高的清洗效率,并获得清洗效率同作用距离、清洗发次的关系曲线,清洗效率和清洗面积随着距离的增大迅速减小,清洗效率随着发次的增加而增加。当激光聚焦点离待清洗物基底表面的距离为1.0mm、激光作用发次为10发次时,达到最佳的清洗效率。(3)进行射频等离子体清洗K9玻璃表面二灰尘颗粒和机油污染物,分析了其清洗效果,并与激光清洗做了对比,在清洗颗粒物方面,其清洗效率不如后者,但是射频等离子体在清洗油脂污染时具有很好的效果,可为激光清洗做补充。