冶金法纯化多晶硅的工艺研究

来源 :华南师范大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xujin2003cn
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随着化石能源的逐渐消耗枯竭,新能源的开发与利用越发显得重要。太阳能作为一种清洁、可持续发展并能够大规模应用的新型能源而受到重视,在新生能源里占了主要的地位。近些年光伏产业的快速发展对太阳能电池材料基石--多晶硅也提出了新的要求,即以更低的能耗来制造太阳能级多晶硅。本文采用冶金法,针对多晶硅中不同的杂质元素采取不同的提纯工艺相结合的方法,探讨一种新的低成本制造多晶硅工艺。  杂质元素B的去除:本文采用氧化造渣工艺,选取SiO2-Na2O-CaF2和SiO2-CaO-CaF2两个造渣体系,探讨了不同的渣相组分(其中CaF2的量均为渣量的10%)、渣金比以及保温熔炼时间对于杂质去除效果的影响。通过扫描电镜、X射线能谱仪和电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-AES)对硅的结构组织和纯度进行表征和分析。实验结果表明:SiO2-Na2O-CaF2体系中,保持熔炼温度1500℃,渣相配比为w(SiO2)为60%~70%,熔炼时间60min,杂质元素B的去除效果最高达68%,;SiO2-CaO-CaF2体系,保持熔炼温度1530℃,熔炼时间在60min~90min之间,该体系渣相配比对除杂效果影响不显著,杂质元素B的去除效果最高达64%。实发现在熔炼过程中CaF2除了降低熔点以外,还起到了降低渣系粘度的作用。  杂质元素P的去除:本文采用真空熔炼工艺,通过采用自行设计的真空感应熔炼炉,探讨了不同温度(分别为1450℃和1500℃)、不同熔炼时间对杂质P的去除率,发现1450℃熔炼,总杂质的去除效率远远低于1500℃的去除效率,不适用于工业化生产。1500℃熔炼时,熔炼时间对杂质去除率和硅的损失影响较大。熔炼时间在40min时,总杂质去除率为71.83%,硅料的回收率为95.8%,熔炼时间达到50min以后,蒸汽压较大的杂质Ca、P都完全去除。另外,在含有少量水分的Ar气氛下精炼,炉内压力仍远远低于大气压,发现对杂质B也有较高的除杂率。  金属杂质的去除:本文采用定向凝固工艺对金属杂质去除。根据已有的最佳工艺参数,对真空熔炼后的硅锭进行了二次定向凝固实验。结果表明,二次定向凝固后金属杂质得到有效去除,总的杂质含量降低至19.24ppmw。
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