【摘 要】
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本文主要讨论Ag-Na离子交换平面玻璃波导传输损耗的测量以及离子交换条形波导的制备和模拟,介绍了集成光学中离子交换工艺的发展历程和光波导的表征技术,并对离子交换的过程
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本文主要讨论Ag-Na离子交换平面玻璃波导传输损耗的测量以及离子交换条形波导的制备和模拟,介绍了集成光学中离子交换工艺的发展历程和光波导的表征技术,并对离子交换的过程进行了理论分析,研究了利用普通数码相机这一方便易用的设备测量平面波导的传输损耗,并制作了Ag-Na离子交换玻璃条形波导并对简单的波导器件进行了数值模拟,具体研究内容如下:首先,用Ag-Na离子交换技术制备了玻璃平面波导然后进行退火处理。用棱镜耦合技术结合反WKB方法得到了退火前后波导的折射率分布,并用普通数码相机分别获得退火前后的波导传输线图,通过Matlab拟合得到波导的传输损耗,对退火前后波导的传输损耗进行比较,结果表明波导的传输损耗是随着模阶数的增加而递增。而适当的退火处理可以大大地降低波导的传输损耗,并对波导的质量有明显的改善。最后,利用微电子工艺,即光刻等技术在玻璃衬底上用Ag-Na离子交换制作了条形波导,通过棱镜耦合观察条形波导和平面波导的模式区别,得到折射率变化的大概趋势。通过端面耦合等测试手段获得了器件的参数特性,并给出了详尽的条形波导的制备过程。最后用有限差分法对简单的方向耦合器进行模拟,得到我们需要的参数,为将来离子交换波导器件的设计和制备打下了基础。
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