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在当今世界经济飞速发展的背景下,环境污染和能源短缺问题日益严重。为满足社会可持续发展的需求,不断探索新型绿色能源已经成为世界各国共同面临的重要课题。在核能、风能、地热能等众多新型能源中,光伏能源作为未来的朝阳产业异军突起,成为人们研究的重中之重。高质量的太阳能电池,特别是薄膜太阳能电池,其性能强烈的依赖于作为透明电极的TCO薄膜材料的性能。因此,探索新型薄膜制备工艺,不断提高薄膜材料特性,对于太阳能电池光电转换效率的提高,乃至整个光伏产业的发展都具有重大的意义。本论文采用射频磁控溅射法,在玻璃衬底上