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V02薄膜可在68℃时发生半导体-金属的可逆相变,同时伴随着光、电、磁性能的突变,使其在智能窗和化学传感等方面具有广泛的应用前景。目前采用的磁控溅射、化学沉积和激光沉积等主要制备技术,多数利用钒靶材与通入的的氧气流反应制备出VO2薄膜。由于钒可与氧构成多种氧化物,很难制备出的化学成分单一的VO2薄膜。因此,选用合适的制备技术获得化学成分单一且表面平整的VO2薄膜显得尤为重要。本论文采用有机溶胶凝胶法(sol-gel)制备VO2薄膜,采用乙酰丙酮钒的甲醇溶液,在氧化铝(Al2O3)衬底上甩膜,并在N2