基于XRD的光学晶体表面/亚表面的损伤检测及实验验证

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【摘要】

：

CaF_2晶体是一种传统的光学材料,由于其具有高的透射率和激光损伤阈值、均匀的折射率和低的双折射率,被广泛应用在高能量激光系统的透镜制作中。加工过程中会在CaF_2晶体表面/亚表面产生损伤,这些损伤将降低晶体的激光损伤阈值。为降低CaF_2晶体的表面/亚表面损伤,需要对损伤进行表征。为了避免检测过程中引入新的损伤,本文将采用一种非破坏性检测技术——共面掠入射X射线衍射技术(GIXRD)对样品表面/

【作者】

：

胡旷南

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2018年06期

【关键词】

：

光学晶体共面掠入射X射线衍射技术损伤检测 TEM验证折射率

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