【摘 要】
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加速度传感器也称加速度计(Accelerometer)是用来测量加速度的惯性传感器件,可以应用于倾斜角、惯性力、冲击及振动等惯性参数的测量。微机械加速度计在惯性制导、医疗、消费类电子产品中有很广泛的应用。电容检测式微机械加速度计因为其高灵敏度和稳定性在各种检测形式的加速度计中备受关注。而电容检测电路的性能又直接影响加速度系统输出性能,因此提高电容检测电路的性能是加速度计系统设计中非常重要的部分。本
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加速度传感器也称加速度计(Accelerometer)是用来测量加速度的惯性传感器件,可以应用于倾斜角、惯性力、冲击及振动等惯性参数的测量。微机械加速度计在惯性制导、医疗、消费类电子产品中有很广泛的应用。电容检测式微机械加速度计因为其高灵敏度和稳定性在各种检测形式的加速度计中备受关注。而电容检测电路的性能又直接影响加速度系统输出性能,因此提高电容检测电路的性能是加速度计系统设计中非常重要的部分。本文针对电容检测式加速度计设计了模拟和数字两种不同形式的检测电路。分别对两种加速度计系
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