【摘 要】
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随着便携式电子元器件的需求不断增加，对器件的体积、灵敏度、能耗和集成度等提出了更高的要求，能源供应也成为限制器件微小型化的重要技术瓶颈。本论文面向“电源微型化、集成化和智能化”的发展趋势，针对MEMS微型电容器温度使用范围宽、功耗低、噪声低、使用寿命长、储能密度高及瞬发功率高的迫切发展要求，开展基于MEMS技术的大容量体积比和高可靠性微型电容器的基础研究，以期为未来微能源系统的设计与应用奠定基础。
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随着便携式电子元器件的需求不断增加，对器件的体积、灵敏度、能耗和集成度等提出了更高的要求，能源供应也成为限制器件微小型化的重要技术瓶颈。本论文面向“电源微型化、集成化和智能化”的发展趋势，针对MEMS微型电容器温度使用范围宽、功耗低、噪声低、使用寿命长、储能密度高及瞬发功率高的迫切发展要求，开展基于MEMS技术的大容量体积比和高可靠性微型电容器的基础研究，以期为未来微能源系统的设计与应用奠定基础。本论文系统分析了MEMS电容器电容量与耐压强度之间的关系，对电容器的掩膜结构和制造工艺进行了优化
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