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近年来，精密定位技术的高速发展对精密电磁微驱动器提出了既要测量范围大又要达到测量精确度高的要求。本论文依托于“局部磁场微调式电磁随动高精密驱动方法与动态特性研究”国家自然科学基金项目（No.51005213），提出了一种新型的基于磁场局部可调的电磁微驱动器方案，通过理论分析、有限元分析和样机实验结果的对比，论证了电磁微驱动器设计方案的可行性，并对其电磁特性进行了分析。本文提出的Halbach永磁式磁场局部可调的电磁微驱动器结构由驱动体和悬浮体两部分组成，驱动体为永磁体矩阵，悬浮体为交错放置的