随着现代通讯技术的迅猛发展,人们对通讯系统的要求也越来越高。其中小型化和低功耗是其发展的两个重要目标。高品质的片上无源元件的缺乏是集成电路发展的一个瓶颈。传输线作为集成电路设计中一个重要的无源元件,在电路设计中起了非常重要的作用。因为在电路的版图设计中会应用到大量的传输线,所以电路的后仿真结果一般会与测试结果存在比较大的差异。而且随着电路工作频率越来越高,传输线在集成电路设计中的影响会更加显著。因此传输线建模对射频集成电路设计具有重要意义。本文对CSMC 0.18μm RF CMOS工艺中顶层金属构成的传输线进行了建模。建模的传输线种类有互连线、微带线以及耦合线。传输线建模时先利用电磁场仿真软件(ADS Momentum)对传输线版图进行电磁场仿真,对S参数进行处理,提取电路模型中的元件参数。采用RLGC和梯形结构的电路模型进行建模,并对这两种电路模型的建模结果进行对比与分析,由于梯形结构比RLGC结构与SPICE模式具有更好的兼容性,因此采用梯形结构的电路模型。对上述三种传输线进行流片和测试,并根据测试结果对传输线进行建模,得到了三种传输线的梯形结构电路模型。将传输线的建模方法应用于功率放大器设计中,对未采用传输线模型的后仿真结果与采用传输线模型的后仿真结果进行了比较,电路的功率增益由26.45dB降低为24.93dB,输出1dB压缩点由11.542dBm增大到12.2091dBm,电路的3dB带宽由5.436-6.603GHz变为5.038-6.313GHz,结果表明传输线效应对6GHz的功率放大器性能有比较明显的影响,说明了传输线建模的必要性。本文设计的传输线模型已嵌入到CSMC 0.18μm RF CMOS工艺的PDK中,可以应用于射频电路的设计。