锆钛酸铅铁电薄膜的织构与残余应力研究

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【摘要】

：

本文采用溶胶凝胶方法制备了(100)织构的锆钛酸铅(Pb (Zr_(0.52) Ti_(0.48) )O_3，PZT )薄膜。利用广角X射线衍射技术研究了PZT薄膜的相结构；利用X射线ω扫描技术分析了PZT薄膜的晶体学织构及其弥散度；利用铁电性能测量仪测定了PZT薄膜的铁电性能。XRD物相分析结果表明，通过调节溶胶凝胶工艺和热处理工艺，可以制备出高度(100)织构的PZT薄膜。铁电性能测量结果表明

【作者】

：

王盛凯

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2008年07期

【关键词】

：

溶胶凝胶 PZT薄膜残余应力织构电场热处理

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