【摘 要】
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在空间激光通信中,光学系统发挥着重要的作用,而光学薄膜是光学系统中关键的部分。因此,研制满足特定要求的光学薄膜具有重要意义。本文根据实际使用情况,针对808 nm、1550 n
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在空间激光通信中,光学系统发挥着重要的作用,而光学薄膜是光学系统中关键的部分。因此,研制满足特定要求的光学薄膜具有重要意义。本文根据实际使用情况,针对808 nm、1550 nm两个特殊的工作波段,选取Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,借助TFC膜系设计软件,采用Needle和Simplex相结合的优化方法,实现了在808 nm、1550 nm处高透过,在510~780 nm、835~1500 nm、1600~1700 nm处高截止的双带通滤光膜的设计。根据实验测试结果,利用TFCalc中的反演优化和交互式分析方法模拟实际制备过程中的膜层厚度,并分析膜厚误差,修正膜系结构;然后,采用电子束加以离子辅助沉积技术,制备了该滤光膜。经环境测试,满足实际使用要求。
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