【摘 要】
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本论文主要分析了物镜前型振镜二维激光扫描光学系统的扫描特性和成像特点,指出物镜前型振镜二维扫描光学系统的图形畸变主要是由对像点坐标和振镜摆角关系的线性近似进而在
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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本论文主要分析了物镜前型振镜二维激光扫描光学系统的扫描特性和成像特点,指出物镜前型振镜二维扫描光学系统的图形畸变主要是由对像点坐标和振镜摆角关系的线性近似进而在扫描过程中简化控制振镜偏转引起的.在此基础上讨论了校正扫描图形畸变的几种方法,并结合75×75小视场物镜fθ特性误差的最小二乘拟合给出校正物镜前振镜二维扫描图形畸变的准确关系式,又根据这个关系式利用非同轴的光学设计软件包模拟实际扫描光学系统进行光线追迹,从而验证校正图形畸变的效果.此外,文中还讨论了影响图形畸变大小和形状的一些其它因素,包括:扫描视场大小、振镜布放形式、像面坐标系方位、入瞳漂移等.最后,对矢量扫描方式中由于光斑在像面上移动速度的非线性引起的扫描图形各部分曝光不均匀问题加以探讨,并给出补偿方法和公式.
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