【摘 要】
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恶劣环境下的压力监测已越来越广泛地应用于油气田开采、航天、电力、化工、煤炭等行业。与传统电学传感器相比光纤压力传感器具有电绝缘性好,能耐受电磁干扰,重量轻,分辨率
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恶劣环境下的压力监测已越来越广泛地应用于油气田开采、航天、电力、化工、煤炭等行业。与传统电学传感器相比光纤压力传感器具有电绝缘性好,能耐受电磁干扰,重量轻,分辨率高和尺寸小,抗高温潮湿等诸多优点,在压力测量领域展现出很大的应用潜力。本文旨在用一种解调过程相对简单的方法设计一款低成本,可批量化生产,具有更高解调速率的便携式光纤压力传感器。论文的主要内容包括:(1)在光纤出射光场研究的基础上,建立了压力传感器光强调制理论模型。通过数值仿真方法分析了光纤探头参数对传感器灵敏度的影响。对传感器压力敏感单元进行了力学分析与多物理场仿真。(2)进行强度调制型光纤压力传感器MEMS加工制作。主要包括传感器压敏器件制作,光纤集成和传感器封装制作三个部分。传感器压敏器件制作主要包括压力敏感膜片和高硼硅玻璃基座。根据传感器外形尺寸,对传感器封装结构进行了设计和加工。(3)建立了传感器压力解调系统;搭建了温度-压力测试平台。在不同温度下,对传感器进行了静态压力测试分析。利用正弦压力测试平台对传感器进行常温动态压力测试。研究结果表明,传感器在室温高达1MPa的压力范围内具有约139 mV/MPa的线性灵敏度。经过三次可重复实验得出重复性误差和非线性误差分别约为2.15%和小于2.51%。20℃至150℃的范围内传感器的温度系数约为0.87 mV/℃。传感器在1kHz高频动态压力范围内环境进行了初步测试。采用MEMS技术,可以批量生产传感器,从而降低成本。
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