脉冲电晕法产生流光放电非平衡等离子体的技术进行脱硫脱硝,因其具有烟气处理效率高、处理单位立方体积烟气功耗小、不会对环境造成二次污染、处理后的副产物可作为复合肥料的原材料被利用且设备投资和运行费用合理,是目前最具应用前景的烟气治理技术之一。因此研究适合于烟气治理的高压窄脉冲电源具有重大的意义。采用IGBT和功率MOSFET等固态功率开关器件是固态调制器技术的一个最新的发展方向,这是由于固态调制器具有体积相对小、性能稳定和重复工作频率高等优点,功率MOSFET的开关速度能达到二十纳秒以下,非常适合使用在脉冲宽度为百纳秒左右的调制器中。本文主要从三个方面研究了脉冲调制器的相关技术。其一,研究了电磁脉冲对调制器的干扰并设计相应地防护措施。其二,以电容作储能器件,以MOSFET作开关的高重复频率固态刚管调制器。其中第二项作为本课题的研究重点。其三,作为针对关键技术的研究,设计并研制了以MOSFET作开关用于产生流光放电的脉冲调制器,其参数为:脉冲幅值>10k V,脉冲宽度<1μs,重复频率24k Hz。以MOSFET作开关,电容作储能器件的高重复频率固态调制器系统的研究包括:固态刚管调制器阵列的结构、感应叠加型输出方式、变压器的设计、同轴屏蔽结构设计、磁性材料的高频性能、同步脉冲的产生和驱动、开关阵列的控制、充电电路的设计等几个方面。在进行可行性的理论分析的同时,还作了研究性的实验。实验结果表明,以MOSFET作开关器件的固态刚管调制器系统,可以获得高重复频率、快上升与下降沿的大功率短脉冲。