超薄件重量小、比表面积大,高表面质量超薄件可应用于微型器件、新型能源等众多领域。超精密车削是理想的超薄件制备方法之一,但加工后零件存在较大的变形,严重制约了该类关键器件的广泛应用。本文对超薄件的整体加工变形进行研究,将理论分析、模拟仿真、实验研究相结合,以正交切削仿真为基础,建立超薄件切削加工的有限元模型,进行超薄件整体加工变形的分析与预测,最后采用补偿加工进行超薄件的制备,研究内容如下:1.正交切削的有限元仿真。首先对切削加工中切屑分离准则、摩擦准则、材料模型等关键问题进行讨论,在此基础上,建立正交切削模型并对切屑形成、应力分布、切削力等进行分析,最后通过切削力实验验证模型正确性。2.超薄件整体加工变形有限元仿真。在正交切削仿真的基础上,对加工工艺与仿真系统的参数转换进行了研究,建立了加工仿真系统并对超薄件加工过程进行模拟仿真。实际加工变形与所建立模型仿真结果基本符合,基于该模型对超薄件加工后变形进行预测与分析。3.超薄件加工变形误差补偿。提出采用补偿方法减小超薄件加工变形,采用原位测量与离线测量得到面形误差数据后,按照补偿原理计算得到补偿面形,采用超精密车削进行补偿加工。同时对补偿工艺中的误差进行讨论,提出提高补偿工艺精度的方法。