亚毫米波在电磁波频谱中处于红外线与毫米波之间非常重要的位置,因此在学术上有很重要的研究价值。随着系统工作频率的不断升高,系统对毫米波、亚毫米波固态源的需求不断增加,而倍频器是获得毫米波、亚毫米波源的最有效方式,所以进行毫米波、亚毫米波倍频器的研究对通信、雷达、医疗、环境监测、物理成像等领域都具有重要意义。本文首先对W波段三倍频器进行了设计、制作和测试。采用两个GaAs肖特基势垒二极管反向并联的结构实现三次倍频的方案,这种平衡倍频电路结构能够将输入频率的偶次谐波抵消掉,从而大大降低电路中的杂波量。本文运用ADS软件建立二极管对模型并且进行匹配电路的设计,运用HFSS软件对W波段三倍频器的滤波电路和过渡转换电路进行了仿真设计,然后把S参数仿真结果导入到ADS软件中,采用谐波平衡法对W波段三倍频器的整体电路进行仿真和优化以获得最大倍频效率。测试结果显示,在87GHz~98GHz频率范围内输出功率为-7.5dBm~-11.8dBm。本文在对毫米波三倍频器研制的基础上,进一步对180GHz三倍频器进行了研究。180GHz三倍频器采用了一种低损耗的新型材料—氟晶云母作为微带电路的介质基片,采用两个二极管反向并联的电路结构,通过HFSS和ADS软件的联合仿真和优化获得最大倍频效率,仿真结果显示在180GHz可以获得最大的输出功率6.85dBm。