【摘 要】
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THz波因其具有的电磁波光子能量低、吸收特性各异、允许信道容量大等特点,如今被广泛的应用在了天文、材料、医疗、制造、通信等领域,而在通信系统中。国内外近几年这方面的
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THz波因其具有的电磁波光子能量低、吸收特性各异、允许信道容量大等特点,如今被广泛的应用在了天文、材料、医疗、制造、通信等领域,而在通信系统中。国内外近几年这方面的最新进展上,100GHz以上性能优良的太赫兹滤波器并不多,而在300GHz以上频段研究成果就更加罕有了。本论文的主要内容就是对300GHz带通滤波器的设计上进行研究。为了在该课题创新性上有所突破,本文所设计的300GHz带通滤波器方案主要采用了两种交叉耦合方式,一种是CT型的三腔滤波器;另一种是TM双模(两腔四模)滤波器。且两种方式都要兼顾所采用的SU-8多层加工工艺。根据项目的研究目标和指标要求,论文详细地分析滤波器的原理并比较了各种滤波器设计方案的优劣,并对各个方案进行了仿真。其中重点研究了具有传输零点的交叉耦合型滤波器,因为目前基于传统的耦合理论设计的太赫兹滤波器都只是采用的直接耦合方式,这一方式的耦合在带外抑制性能上都不是很好。所以本文力求探索出能够使用SU-8工艺加工实现的太赫兹交叉耦合滤波器。但是目前由于国内加工条件的限制,使得在300GHz的仿真模型最后加工实现比较困难,所以课题最后采用等化成10GHz的滤波器模型进行了样品的加工,验证方案的可行性,性能参数估算和测试,结果显示各项指标基本达到课题指标要求。最后,总结了本文主要的研究内容并得出结论,给出后续工作可以加强和改进的方向。
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