硅基多孔氧化铝模板制备纳米结构及其表征

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纳米材料和纳米结构由于在纳米电子学、纳米光电子学、生物工程等方面有着潜在的广阔的应用前景,受到国际上极大的关注.在众多合成方法中,利用多孔氧化铝作为模板和掩膜合成纳米材料和纳米结构被实践证明是行之有效的方法之一.我们将多孔氧化铝膜转移到硅衬底上,将其作为模板和掩膜,合成硅基纳米材料和纳米结构,从而为硅基纳米电子学和纳米光电子学作为材料上的准备.
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