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基于粒子群的RBF神经网络晶圆清洗机过滤器流量预测

来源 :新疆大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tianhaiyandml

【摘 要】

：

随着电子产品在生活中的普及,电子产业飞速发展,那么半导体的制作就尤为重要,晶圆清洗技术是半导体生产过程中不可缺少的一部分,决定着企业利润的高低。在生产制造集成电路和半导体产品过程中,几乎每道工序都涉及到清洗,晶圆的清洗质量直接关系到半导体和集成电路的成品率。就目前晶圆的清洗技术而言,湿法清洗是最常用的的清洗技术。湿法清洗技术的关键在于对清洗机化学品流量和浓度的控制。通过对清洗机过滤器流量的控制可以

【作 者】

：

王燕燕 

【出 处】

：

新疆大学

【发表日期】

：

2019年12期

【关键词】

：

改进RBF神经网络 粒子群算法 过滤器流量 非线性 

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