高反射率测量技术是多种激光系统的关键技术,在这些激光系统中均使用了大量的高反射率光学元件,要想在高反射率镀膜技术上得到新的突破,更高精度的测量技术必不可少,而光腔衰荡技术是目前已知的唯一能精确测量反射率大于99.9%的方法。本论文着眼于解决耦合光腔衰荡技术在高反射率测量应用过程中由于腔结构的转换从而引入附加误差的问题,针对该技术高反射率测量实验过程中的调腔标准展开了研究。本文介绍了直腔结构下关于耦合光腔衰荡技术的已有实验成果,考虑到实验的便捷性和对腔内模式分析的必要,提出了基于V型腔结构的耦合光腔衰荡技术。理论和仿真分析表明,该技术能够提升传统光腔衰荡高反射率测量精度。得到了影响该技术耦合效率的因素。又通过建立高反射率测量仿真模型,从理论上确定了该技术能够提升传统光腔衰荡高反射率测量精度。本文结合现有实验条件,详细介绍了“模式与共振峰”结合的调腔方法。通过基于腔内模式的仿真分析,得到了耦合腔内影响叠加光斑形态的因素。又通过具体实验分析,最终确定了应用于耦合光腔衰荡技术中的调腔方法,为后续该技术应用于高反射率测量提供了调腔依据。本文分析了耦合光腔衰荡技术和传统光腔衰荡技术的腔损耗关系,得到了该技术应用于高反射率测量过程中的“精调腔”标准。最后综合得到的调腔方法和“精调腔”标准开展了高反射率测量实验。实验结果表明,耦合光腔衰荡技术较传统光腔衰荡技术,能够获得10.0%~27.1%的测量精度相对提升。本文主要解决了耦合光腔衰荡技术在高反射率测量应用过程中存在的部分问题,对于该其他领域的应用,本文研究成果也可提供一定参考。