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非平衡磁控溅射TiAIN薄膜的组织结构与性能研究

来源 :浙江工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sdlnf

【作 者】

：

倪茂林 

【出 处】

：

浙江工业大学

【发表日期】

：

2018年09期

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