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随着超精密加工设备精度的不断提高，对加工环境的要求也越发苛刻，对振动的要求便是其中非常重要的一项。相比于传统的被动隔振方式，主动隔振方式能够获得更宽的隔振频带，且能够克服被动隔振无法同时对地面振动和负载振动进行良好隔离的劣势。而传感单元是主动减振实现其功能的重要组成部分，对其进行深入的研究有重要的理论和实用意义。本文从主动减振系统的工作原理出发，提出了对传感单元的功能要求，在此基础上设计并分析了传感单元的总体实现方案，对其中将要采用的非接触位移传感器、绝对速度传感器进行了选型比较，确定了所选