【摘 要】
：
探索研究新的SOI结构成为SOI研究领域新的热点.传统SOI结构是以SiO作为绝缘埋层,由于氧化硅的低热导率而使SOI器件/电路存在自加热效应,在SOI结构中引入新的埋层成为了解决这些问题的有效途径.该论文结合我们承担的973、国家自然科学基金项目等国家任务,开展了以SiN、SiO/SiN、SiO/SiN/SiO等为埋层的新型SOI结构等材料的制备、性能及其应用的研究.
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
论文部分内容阅读
探索研究新的SOI结构成为SOI研究领域新的热点.传统SOI结构是以SiO<,2>作为绝缘埋层,由于氧化硅的低热导率而使SOI器件/电路存在自加热效应,在SOI结构中引入新的埋层成为了解决这些问题的有效途径.该论文结合我们承担的973、国家自然科学基金项目等国家任务,开展了以Si<,3>N<,4>、SiO<,2>/Si<,3>N<,4>、SiO<,2>/Si<,3>N<,4>/SiO<,2>等为埋层的新型SOI结构等材料的制备、性能及其应用的研究.
其他文献
电视节目本土化主持作为一种新型的电视节目形态，成为各地方电视媒体迅速提高收视率的一大法宝。在我们为此感到高兴的同时也应冷静的思考其火爆背后隐藏的问题。本文选取电视节目本土化主持生存略作为研究对象，采用综合考察与典型分析相结合的研究方法，总结出本土化主持有待解决问题，进一步确定本土化主持应有它特例独行的生存空间。
增强子(Enhancer)13q-Enh2位于13q12.12肺癌风险染色质区，实验室前期已从不同角度证实，TNFRSF19为增强子13q-Enh2的靶基因，在正常支气管上皮细胞中敲除增强子13q-Enh2，显著下调TNFRSF19基因表达，提高经NNK诱导细胞的恶性转化率。TNFRSF19(Tumor necrosis factor receptor superfamily member 19)
针对农业生产中作物秸秆和氮肥资源利用率低、氮素残留、环境污染、温室气体排放、农业生态环境发展不可持续等现存问题，本研究通过冬小麦-夏玉米一年两熟田间试验，探究不同秸秆还田方式配施氮肥下冬小麦、夏玉米农田碳氮素循环平衡状况。8个处理分别为：玉米、小麦秸秆全量直接还田下小麦玉米全生育期不施氮(SSN0)，小麦季施氮260kg·hm-2、玉米季施氮435kg·hm-2(SSN1)；玉米秸秆全量过牛腹还田
荒漠草原是水分限制型的脆弱生态系统，为了明确荒漠草原生态水文作用关系及水循环过程，进一步为该区生物多样性保护、水资源可持续管理提供决策，本文选择荒漠草原上东河小流域通过野外现场试验以及人工降雨模拟试验等，分析了植物群落特征、蒸散发、降雨产流过程、水量平衡、小流域生态水文特征等。研究结果如下： (1)对上东河小流域60年气象数据分析降雨呈略微增加趋势，变化率1.6mm?10年-1，气温变化呈增加趋
目的:探讨缓压乐复方制剂是否可以发挥防治SIH和肾损伤的作用，为SIH和肾损伤的防治提供实验依据。方法:(1)选取造模成功的SIH模型大鼠20只，随机分为对照组(n=10只)和药物干预组(n=10只)，对照组大鼠每天灌胃蒸馏水(4ml/只)，药物干预组大鼠每天灌胃缓压乐复方制剂(4ml/只)，同时两组给予间断足底声光电刺激、制动、夹尾等复合应激刺激进行4W的治疗，期间对体重每2W测量一次，4W治疗
肺炎链球菌作为一种主要的人类呼吸道致病菌，每年在全世界造成数百万人死亡。而且随着抗生素的滥用，越来越多的细菌由于选择压力进化出了抗药性，甚至具有抵抗多种抗生素的能力，即多重耐药性。理解细菌产生抗生素耐药性的分子机制，并进而开发新型抗生素用于相关人类疾病的治疗势在必行。致病菌脂肪酸合成路径相关蛋白是潜在的抗生素的重要靶点。脂肪酸合成途径为细菌生物膜的合成提供底物，对膜磷脂组分的调节和膜磷脂稳态的维持
泛素蛋白酶体系统(UPS)是一种组织良好的蛋白销毁机器，它由多种蛋白质组分(E1泛素激活酶、E2泛素偶联酶、E3泛素连接酶和26S蛋白酶体)组成，各组分间彼此协同工作以确保及时高效的将底物蛋白水解。因此，UPS的任何组件的失调都可能显著影响受其调控的任何生物过程的功能发挥。 为了系统地鉴定出对肺癌发生至关重要的泛素蛋白酶体系统相关基因，我们使用基因沉默方法来敲低非小细胞肺癌(NSCLC)细胞中的
家族性惊厥病是一种罕见的神经系统病变，主要表现为惊跳反射异常，对外界轻微的触碰以及声音刺激便可以表现出异常的惊厥反应。该病通常是由神经系统甘氨酸受体(Glycine receptor，GlyR)突变导致。甘氨酸受体是神经系统一种主要的抑制性神经受体，主要分布在脊髓和脑干部位。目前临床上已经发现几十种致病的甘氨酸受体的突变位点，如R271Q，S267Q以及Q266I等。甘氨酸受体对维持神经系统兴奋-
近些年水产养殖产业发展迅速，饲料原料日益紧张，水产动物饲料供需矛盾逐年增加。目前，急需开发具有高营养价值新型饲料原料，来缓解水产饲料供需矛盾。具有高营养价值且价格低廉木本植物是水产动物饲料理想新型饲料原料，而木本植物中抗营养因子严重限制了木本饲料推广与应用。肠道微生物在机体营养代谢过程中具有极为重要的价值。目前，有关木本饲料对水产动物肠道微生物多样性影响研究较少，尤其，有关卵形鲳鲹肠道微生物多样性
化学链燃烧是一种有别于传统燃烧的新型燃烧方式，它利用金属氧化物作为氧载体实现氧原子的传输，从而避免燃料与空气的直接接触，因此反应过程中没有Nox生成，并且不需消耗额外的能量就可实现CO2的分离，具有较高的能源利用率。 本文选择了CaSO4氧载体作为研究对象。以化学热力学为基础，应用化学热力平衡分析工具FACT 2.1进行化学热力学计算，初步分析CaSO4氧载体与四种不同方案燃气的反应性能，重点总