随着微波通信技术的迅速发展,使得所利用的电磁波向更高的频率段发展。微波滤波器是微波通信系统中必不可少的关键器件之一,滤波器的性能将直接影响到系统的整体性能。目前利用传统CMOS工艺加工的微波滤波器,存在高损耗、低可靠性和低射频性能等缺点,限制了系统进一步的发展。而RF MEMS技术由于具有低损耗、宽频带、高隔离度、体积小以及重量轻等优点,易于实现微型化和集成化,已经越来越受到广泛的关注。利用共面波导结构和缺陷地结构设计的RF MEMS可调滤波器,除了具有良好的射频性能外,还可以有效减小系统的复杂度、体积、重量和功耗等,已经广泛的应用在新一代微波通信系统射频前端中。本文主要进行了RF MEMS可调带阻滤波器的研究分析与设计工作。首先介绍了RF MEMS滤波器的基本设计理论,重点研究分析DGS结构的慢波、带阻特性,提出了3种新型的DGS谐振结构,并分别给出LC、RLC、Π型等效电路,通过电磁仿真和电路仿真对DGS结构进行了验证。其次,根据3种新型DGS结构谐振单元设计出3种不可调滤波器,并分析其仿真结果。再次,将RF MEMS悬臂梁开关应用在n型带耳DGS带阻滤波器上,使得滤波器具有可调谐特性,得到可调范围为7.47GHz的RF MEMS带阻滤波器。最后,简单介绍了MEMS的加工方法及其关键工艺,设计出RF MEMS带阻滤波器的工艺流程,为今后制作RF MEMS可调滤波器指出一个可行的方向。