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微结构作为核心光学元器件广泛应用于测量、光通讯等领域,其表面质量是决定光学元件性能及稳定性的重要因素,然而微结构形状、尺寸较小的特点很难用精密设备检测、辨识其表面形貌是否符合设计要求。尽管部分国内外学者针对表面形貌与光学性能的关系开展了相关研究,但主要局限于单一平面或者单一曲面上,尚未见到针对微结构的形状变化及其表面形貌对光学性能影响的相关报道。综上所述,建立微结构表面形貌与其光学性能关系,有利于快速准确的检测大面积微结构阵列的表面形貌。本文以角锥棱镜微结构为例,分析角锥棱镜弯曲变形对反光效果的影响