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环境振动、内部激励是影响精密加工装备与测量仪器精度和性能的关键因素,因而能有效隔离地基振动和抑制直接扰动的精密主动隔振系统成为精密制造、测量装备的必要保障。本论文主要针对精密主动隔振系统的隔振带宽和隔振性能要求,开展了精密主动隔振平台的控制系统分析和设计,主要的工作和成果有:建立了精密主动隔振平台的动力学模型,阐述了六自由度振动隔离与主动控制机理,确定了隔振系统的主要隔振性能指标,并完成了控制系统的架构设计。针对宽频带、高精度的控制要求,完成了主动隔振控制系统的硬件设计。根据速度传感器的特性及其低频