【摘 要】
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采用TG-6B多弧离子镀膜制备(Ti,Cn)N超硬膜层,系统地研究了偏压、氮分压对膜层性能的影响;确定获得优质膜层的最佳工艺参数;探讨了膜层沉积模型.自行研制了将膜/基结合力测定
【出 处】
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中国矿业大学(北京) 中国矿业大学
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采用TG-6B多弧离子镀膜制备(Ti,Cn)N超硬膜层,系统地研究了偏压、氮分压对膜层性能的影响;确定获得优质膜层的最佳工艺参数;探讨了膜层沉积模型.自行研制了将膜/基结合力测定及模拟单颗粒擦划功能组合于一体的新型多功能膜/基结合力测定认错.测度了膜层失效的临床界载荷及膜层的单颗粒擦划阻力系数,考察多种试验条件对膜/基结合力和擦划阻力系数的影响.系统地研究了(Ti,Cr)N膜层的摩擦磨损特性.分析了磨损形貌,探讨了磨损机理及多元膜层的强化机理,建立了膜/基结合力、擦划阻力系数、膜层表面硬度与磨损率之间的关系.研究结果表明,(Ti,Cr)N膜层的摩擦磨损性优于TiN和CrN,具有良好的工程应用前景.运用断裂力学理论,建立膜层剥落的能量模型,推导了了膜层剥落临界能量计算公式.运用灰色理论预测方法,对(Ti,Cr)N膜层的摩擦学性能时行分析和预测.
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