微透镜阵列的慢刀伺服加工机理及其光学性能评价方法的研究

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微透镜阵列是一种典型的微小光学元件,具有体积小、重量轻、便于集成化等优点,广泛应用于均匀导光、光通讯、光场成像等光学领域。慢刀伺服加工技术是一种可实现微透镜阵列超精密加工的有效方法。为保证微透镜阵列加工后的光学性能,通常需优化慢刀伺服加工工艺,控制其加工误差。然而,当前研究主要集中在提高零件表面加工精度上,缺乏对加工误差与光学性能之间关系的研究,致使在加工精度控制基准上采取保守的控制方法,提高了加工成本和难度。本课题研究针对微透镜阵列在光场成像中的应用,基于慢刀伺服加工方法,对微透镜阵列加工的刀具轨
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